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Dr. Luc Van den hove (President & CEO, Imec) and Dr. Sang-il Park (Chairman & CEO, Park Systems)

 "We are grateful for the opportunity to partner with IMEC in a Joint Development Project.This partnership between Park Systems and imec provides a crucial link of scientific collaboration." Dr. Sang-il Park, CEO of Park Systems 

 

원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)의 선두주자 ㈜파크시스템스와 세계적인 나노일렉트로닉스 연구센터인 IMEC이 미래기술의 중심이 될 산업용 In-Line AFM의 개발을 위해 공동개발프로젝트(Jont Development Project, JDP) 체결을 발표했다. 지난 2015년 2월 3일 서울 삼성동의 인터콘티넨탈 호텔에서 열린 조약식에서 ㈜파크시스템스는 IMEC의 산업제휴프로그램(IMEC's Industrial Affiliation Program, IIAP)에 공식적으로 합류하고 새로운 멤버가 되었다. 이번 공동개발프로젝트를 통해 반도체산업에서 생산수율 및 소자의 성능을 높이기 위한 새로운 프로토콜이 개발될 것으로 예상된다.

㈜파크시스템스의 박상일 대표이사는 “공동개발프로젝트에 IMEC과 협력할 수 있는 기회를 얻은 것에 감사한다.”고 전하며, “파크시스템스와 IMEC의 파트너쉽은 반도체 웨이퍼 생산업체 및 공급업체 전반의 과학 협력에 중요한 연결고리가 될 것이며, 이번 공동개발프로젝트를 통해 AFM기반의 Inline 나노계측을 위한 중요한 미래기술 발전이 이루어질 것이다.”라고 덧붙였다.

IMEC은 벨기에에 본사를 두고 있고, 네덜란드, 대만, 미국, 중국, 인도, 일본에 사무소를 두고 있는 마이크로 & 나노일렉트로닉스 연구 센터로, 현재 약 2,000여명의 직원을 보유하고 있다. Intel, Samsung, Panasonic, NVIDIA, STMicroelectronics, NXP Semiconductors, GlobalFoundries, TSMC, Hynix, ASML, Xilinx, Altera, Cadence Design Systems, Qualcomm, Renesas, Siltronic 등이 IIAP 멤버로 가입되어 기술 협력을 맺고 있으며, 320 million Euro의 수익을 창출하고 있다.

(주)파크시스템스와 IMEC과의 협력은 단순히 연구개발 뿐 아니라, IIAP의 멤버로 속해 있는 전세계 주요 기업 및 연구소들에도 그 연구 결과가 공유됨으로써 파급효과가 매우 크다는 점에서 더욱 의의가 있다.

㈜파크시스템스와 IMEC의 공동개발프로젝트에서는 공정개발, 생산 및 불량 분석에 있어 기존의 광학적인 측정 방식을 보완할 다양한 AFM 계측 솔루션이 개발될 것이며, 특히 여러 가지 반도체 공정 과정 후에 발생하는 미세구조물의 형상변화를 정확하게 측정할 수 있는 고해상도 3D AFM 계측의 새로운 장을 열게 될 것이다. 이는 반도체 제조업체에게 새로운 in-line 측정/분석 방법을 제공할 뿐만 아니라, 반도체 소자의 성능과 생산수율을 높일 수 있는 더 나은 공정 개발과 제어를 위한 새로운 생산 프로토콜을 제시할 것이다. ㈜파크시스템스의 3D AFM은 다양한 각도에서 시료 측정이 가능하기 때문에 수직한 구조나 원통형의 구조에서도 고해상도의 측면정보를 얻을 수 있어 기존의 FinFET, TFT, STT-MRAM 등과 같은 수직구조의 소자 성능 개선에 큰 영향을 미칠 것으로 판단된다.

반도체 소자의 크기가 축소화 됨에 따라 미세구조에 대한 정확한 계측/분석은 소자의 성능과 직접적인 영향이 있기 때문에 중요한 요소로 대두되고 있다. 또한 지금까지 미세구조 측정에 사용되고 있는 장비들(CD-SED, TEM, OCD 등)은 해상도 문제, 시료 측정 및 준비 과정에서 발생하는 시료의 손상 그리고 이로 인해 발생하는 시간지연 등의 단점을 가지고 있어 그 한계에 부딪히고 있는 실정이다. 때문에 비파괴 방식의 미세구조 측정과 하이브리드 metrology가 가능한 AFM이 차세대 In-line 계측 분석 방법으로 각광받고 있는 것이다. 최근 10년간 하이브리드 metrology에 대한 연구 및 적용은 엄청난 향상을 보여주고 있다. ㈜파크시스템스의 새로운 3D AFM을 이용한 계측방식은 그 한계를 뛰어 넘어 반도체 수율제어에 큰 기여를 할 것이며, ㈜파크시스템스와 IMEC의 협력은 반도체 계측의 차세대 솔루션을 개발하기 위한 다양한 연구 집단의 정보 수집의 발판이 될 것이다.

* (주)파크시스템스에 대하여(참고)
(주)파크시스템스는 물질을 수천만 배의 배율로 원자 단위까지 보여주는 초정밀 측정장비인 원자현미경 분야 세계 선두기업이다. 꾸준히 해외 시장을 개척하며 지속적으로 성장하여 현재는 미국과 일본, 싱가포르에 법인을 설립하여 해외 시장 진출의 기반을 더욱 다지고 있다. 또한 30개국이 넘는 세계적 판매망을 구축하였으며, 세계 각지 다양한 분야에서 (주)파크시스템스의 제품이 사용되고 있다. Harvard, Columbia, Stanford, 또 중국 Tsinghua 대학과 같은 유수대학과 Seagate, Hitachi GST, TDK, NASA, Argonne National Lab, NPL 등 외국 유명 기업 및 연구기관으로부터 인정을 받은 것을 통해 그 우수성은 세계적으로 증명되고 있다.

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