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나노계측기기인 원자현미경(Atomic Force Microscope) 제조기업 파크시스템스는 1월 31일부터 2월 2일까지 국내 반도체 산업을 대표하는 전시회인 세미콘코리아 2018에 참가해 반도체 공정용 장비인 Park NX-Wafer를 포함한 연구, 전자, 바이오산업용 Park NX10 장비를 선보였다.

<파크시스템스의 300mm 웨이퍼 측정용 완전 자동화 장비 'Park NX-Wafer'>

반도체 미세화가 빠르게 진행되는 산업 흐름 변화에 따라 파크시스템스의 반도체 공정용 원자현미경에 대한 관심이 증가하고 있다. 수십만 배 배율을 가진 전자현미경(Scanning Electron Microscope)에 비해 원자현미경의 배율은 최고 수천만 배에 달하며 또한 3차원 관찰이 가능하다는 장점을 가지고 있다. 뿐만 아니라 원자현미경은 대기 중에서도 사용이 가능하고 물체의 형상뿐만 아니라 시료의 전기적, 자기적, 기계적 특성들도 측정할 수 있어서 반도체, 하드디스크드라이브(HDD), 액정표시장치(LCD)는 물론 재료공학, 정밀화학, 분자생물학 등 다양한 나노기술 연구에 널리 쓰이고 있다.

이윤기 파크시스템스 글로벌영업부 본부장은 “이미 해외 IBM, IMEC과 같은 글로벌 반도체 기술을 선도하는 회사와 컨소시엄에서 최신 공정 개발을 위한 주요 측정장비로 파크시스템스의 원자현미경을 채택하였다. 파크시스템스는 반도체 공정용 원자현미경 시장 내 압도적인 경쟁력 우위를 보이고 있는 만큼 올해 국내시장에서의 성장이 본격화될 것이다.”며 강한 자신감을 내 비추었다. . “

<파크시스템스 영업부 총괄 이윤기 본부장 인터뷰>

(주)파크시스템스는 원자현미경(AFM)을 개발, 생산, 판매하는 나노계측기기 전문기업으로 지속적인 성장과 제품 혁신을 통해 25여 년이라는 가장 오래된 역사를 자랑하고 있다. 경기도 수원시에 본사가 있으며 미국, 일본, 독일에 현지법인과 싱가포르, 대만에 연락사무소를 포함하여 전세계에 30개국이 넘는 판매망을 구축하였다. 원자현미경은 시료의 형상과 물성을 나노미터 수준에서 측정하고 분석할 수 있는 장비로 나노기술 시대를 열어가는 중요한 도구로서, 암세포, 스템셀, 폴리머, 그라핀과 같은 나노계측이 필요한 연구 분야뿐만 아니라 배터리, 소재, 화학, IT 디바이스, 반도체 등과 같은 산업분야의 제품개발과 관리 그리고 생산공정에도 도입되고 있는 차세대 계측장비다.

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