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    Innovative Technology
 

True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode Preserves Sharp Tip

원자현미경 팁의 뾰족한 말단은 너무나도 섬세하므로 시료에 접촉하는 순간 즉시 마모되어 원자현미경의 분해능이 떨어지며 화질이 저하됩니다. 또한 시료가 부드러운 경우에는 팁이 시료에 손상을 가하여 시료의 높이가 부정확하게 측정됩니다.이는 여러분의 소중한 시간과 비용을 낭비하게 됩니다. 파크시스템스의 혁신적인 원자형미경 기술인 완전 비 접촉™ 모드를 통해 시료에 손상을 주지 않고도 높은 분해능과 데이터의 정확성을 계속 유지할 수 있습니다

Preserves-Sharp-Tip

1:1의 종횡비로 표시된 시료 이미지는 파크시스템스의 원자현미경으로 측정한 STI(Shallow Trench Isolation)의 미처리 원시 데이터이며, 깊이는 3.7 μm이며 주사 전자현미경(SEM)으로 실제 깊이를 검증했습니다. 오른쪽 위에 있는 두 장의 이미지는 시료를 20회 측정한 후에도 팁의 마모가 없음을 보여 줍니다

 

Accurate Feedback by Faster Z-servo Enables True Non-Contact AFM

이미 널리 알려진 바와 같이 비접촉식 원자현미경에는 팁 마모가 없고, 시료 손상이 없으며, 고해상도 이미지가 유지되고, 원자현미경 측정 결과가 정확하다는 장점이 있습니다. 그러나 완전 비접촉 모드TM를 실현한 기업은 파크시스템스가 유일합니다. 이는 원자현미경 사용자가 시료에 손상을 주지 않고도 이미징과 측정을 수행할 수 있는 강력한 기술입니다. 완전 비접촉 모드TM에서는 팁과 시료 사이의 거리가 원자간 순 인력권 내에서 수 나노미터로 유지됩니다. 팁의 진폭이 작으므로 팁과 시료의 상호작용이 최소화되어 팁의 수명이 크게 연장되고 시료에 주는 영향이 거의 없습니다.

True Non-Contact™ Mode

non-contact
  • 작은 팁 마모 = 장기적인 고해상도 스캔
  • 비파괴적인 팁-샘플 상호 작용 = 견본 수정의 최소화
  • 파라미터에 의존하는 결과의 면제
non-contact-mode

Tapping Imaging

tapping-imaging
  • 빠른 팁의 마모 = 흐릿한 저해상도 스캔
  • 파괴적 팁-샘플 상호작용 = 샘플 손상 및 변경
  • 파라미터에 의존적
tapping-imaging
 

Industry Leading Z-Servo Speed

파크시스템스의 AFM은 업계에서 가장 빠른 Z 서보 속도를 가지고 있습니다. 고속 스캔 동안에도 왕복 시 스캔 간격을 0.15% 미만으로 최소화합니다.

Fast-Z-Servo-Speed
 

단단함과 마모성 그리고 손상이 쉽게 생기는 특징을 가진 WC 필름 샘플을 통해 파크시스템스 원자현미경의 고속 Z 서보 속도의 장점을 증명하였습니다. 완전 비 접촉 스캔은 빠른 속도와 완벽하게 왕복된 스캔에서도 팁의 말단을 날카롭게 유지시켜줍니다.

 
true non-contact-mode

Park AFM employs industry leading fast Z-servo speed:

Z 스캔 질량이 최소화된 고속 Z 서보와 빠른 DSP 서보 제어를 통해 탐침이 협소한 인력 범위 안에 유지되므로 대기 환경에서도 비접촉식 원자현미경 이미징이 가능합니다.

  • 9kHz 이상의 Z 스캐너 대역폭, 팁 속도 62mm/초 이상의 Z 서보 속도
  • 최소한의 Z 스캔 질량(PSPD 및 팁)으로 Z 서보 속도 최적화
  • 최소한의 Z 스캔 질량(PSPD 및 팁)으로 Z 서보 속도 최적화
 

True Non-Contact Mode