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    3DM Series
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High-Throughput Inline Automation

Automatic Tip Exchange (ATX)

자동 팁 교환 기능에서는 자동화된 측정 절차를 중단 없이 계속하기 위해 팁을 완전히 자동으로 교환해 줍니다. 자동으로 캔틸레버 위치를 교정하고 참조 패턴을 측정한 결과에 따라 측정 설정을 최적화합니다. 획기적인 자력 방식으로 팁 교환 성공률을 기존의 진공 기법보다 훨씬 높은 99%까지 높였습니다.

 

Automatic Wafer Handler (EFEM or FOUP)

사용자는 XE-3DM에 자동 웨이퍼 핸들러(EFEM, FOUP 혹은 다른 장치)를 추가할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러의 정밀하며 비파괴적인 로봇 팔은 XE-3DM 사용자의 안정적인 웨이퍼 측정을 가능하게 합니다.

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Ionization System

XE-3DM에 정전기를 효과적으로 제거하는 이온화 시스템을 장착할 수 있습니다. 이 시스템은 대전된 물체를 이온화하며 주위 공간을 전혀 오염시키지 않고 양이온과 음이온을 끊임없이 발생시켜 이상적인 균형 상태를 유지하므로 안정성이 매우 높습니다. 또한 시료 취급 시 우발적으로 발생할 수 있는 정전기 축적을 줄입니다.

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