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  • Park 3DM Series
    Automated Industrial AFM
    for High-Resolution 3D Metrology

Automated Industrial AFM for High-Resolution 3D Metrology

Park Systems이 소개한 획기적인 XE-3DM은 오버행 프로파일, 고해상도 측벽 이미징, 그리고 각도 측정을 위한 전자동 AFM 시스템입니다. 독특한 분리식 XY 및 Z 스캔 시스템과 경사식 Z 스캐너는 정확한 측벽 분석에 있어서 일반적인 팁 방식과 플레어 팁 방식이 가지는 문제점을 극복합니다. Park Systems의 완전 비접촉 모드™을 탑재한 XE-3DM은 고종횡비 팁을 사용하여 소프트 포토레지스트 표면의 비파괴식 측정이 가능합니다.

Park NX-3DM

Park NX-3DM


Brochures

 

Accuracy Like Never Before

Park Systems이 소개한 획기적인 XE-3DM은 오버행 프로파일, 고해상도 측벽 이미징, 그리고 각도 측정을 위한 전자동 AFM 시스템입니다. 독특한 분리식 XY 및 Z 스캔 시스템과 경사식 Z 스캐너는 정확한 측벽 분석에 있어서 일반적인 팁 방식과 플레어 팁 방식이 가지는 문제점을 극복합니다. Park Systems의 완전 비접촉 모드™을 탑재한 XE-3DM은 고종횡비 팁을 사용하여 소프트 포토레지스트 표면의 비파괴식 측정이 가능합니다. • 교차간섭 제거(XE)는 아티팩트-프리와 비파괴 이미징을 가능하게 합니다. • 새로운 3D AFM은 측벽 및 언더컷 피쳐의 고해상도 이미징을 가능하게 합니다.

Throughput Like Never Before

나노 스케일의 설계를 가능하게 했던 기존의 AFM은 생산품질관리에 사용되기에 충분히 빠르지 않았습니다. 반면, Park Systems의 혁신적인 스루풋 게인은 자동 인라인 제작에 AFM을 사용할 수 있게 합니다. 이 혁신은 Park Systems의 독창적인 자력 방식인 자동 팁 교환을 포함하는데, 이는 기존의 진공기술보다 높은 99%의 성공률을 자랑합니다. 원 데이터에 대한 완벽한 액세스와 고객과의 진정한 파트너십은 모든 프로세스(과정)와 스루풋 최적화에 필수적입니다.

Cost-Effectiveness Like Never Before

나노메트로로지(nanometrology) 계측의 정확도와 스루풋은 연구에서 인라인 제작으로 이어지는 과정에서 비용 효율적인 해결을 통해 이루어져야 합니다. Park Systems은 효율적인 자동화와 팁의 긴 수명과 관련된 비용문제를 산업 AFM 솔루션을 통해 해결하였습니다. 인라인 산업제조에 있어서 비효율적이며 고비용의 SEM을 효율적이며 적당한 가격의 자동화된 3D AFM으로 대체함으로써 비용을 절감하였습니다. 오늘날의 제조사는 새로운 설계의 결함을 찾아내기 위해서 트렌치 프로파일과 측벽의 변형을 나타내기 위한 3D 정보가 필요합니다. 모듈식 AFM 플랫폼은 소프트웨어와 하드웨어의 빠른 변화를 가져오며 생산품질관리의 복잡한 측정에 있어서 비용 효율적인 업그레이드와 더 나은 최적화를 가능하게 합니다. 또한, 200%가 넘는 AFM 팁의 긴 수명은 소유비용을 절감해줄 것입니다. 기존 AFM의 태핑은 팁의 빠른 마모를 초래하는 반면, Park Systems의 완전 비접촉 모드™을 탑재한 AFM은 팁의 품질수준을 유지합니다.

 

Park 3DM-Overview