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  • Park HDM Series
    NX-HDM
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    XE-HDM
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Simply the best AFM for automatic defect review and surface roughness measurement

미디어 및 회로 기판을 위한 엔지니어가 나노스케일의 결함을 발견하는 일은 오랜 시간이 걸리는 작업입니다. Park Systems의 NX-HDM은 자동화된 결함 식별, 스캐닝, 그리고 분석을 통해 크기에 따른 결함의 재검토 과정 속도를 높여주는 원자력 현미경 시스템입니다. Park Systems의 NX-HDM은 다양한 광학검사 툴(장비)과(와) 직접적으로 연관되므로 자동적인 결함 재검토 처리량을 크게 증가시킵니다. 게다가, Park Systems의 NX-HDM은 스캔을 하면 할수록 더욱 정확한 서브-옹스트롬 표면 거칠기 측정이 가능하도록 해줍니다. NX-HDM은 산업 내 최저 노이즈 플로어와 Park Systems만의 유일한 완전 비접촉™ 기술을 이용하여 시장 내에서 가장 정확하게 표면 거칠기를 측정을 할 수 있는 AFM입니다.

 

Higher Throughput, Automatic Defect Review

Park Systems의 NX-HDM은 자동화된 결함 식별, 스캐닝, 그리고 분석을 통해 크기에 따른 결함의 재검토 과정 속도를 높여주는 원자력 현미경 시스템입니다. Park Systems의 NX-HDM은 다양한 광학검사 툴(장비)과(와) 직접적으로 연관되므로 자동적인 결함 재검토 처리량을 크게 증가시킵니다.

 

Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement

산업은 날로 줄어드는 디바이스 크기를 다루기 위한 Ultra-flat 미디어와 기판을 점점 더 요구합니다. Park Systems의 NX-HDM은 스캔을 하면 할수록 더욱 정확한 서브-옹스트롬 표면 거칠기 측정이 가능하도록 해줍니다. NX-HDM은 산업 내 최저 노이즈 플로어와 Park Systems만의 유일한 완전 비접촉™ 기술을 이용하여 시장 내에서 가장 정확하게 표면 거칠기를 측정을 할 수 있는 AFM입니다.

Park NX-HDM

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