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Automated Inline Measurements of Hard Disk Sliders

줄어드는 면적과 증가하는 복잡성을 지닌 하드 디스크 슬라이더의 생산 수율을 향상시킬 핵심 방법은 나노 스케일의 정확도에 달려있습니다. Park Systems의 NX-PTR은 하드 디스크 슬라이더의 정확하며 자동적인 측정을 제공합니다.

Automatic PTR Measurement and Analysis

폴 팁 리세션(PTR) 측정은 NX-PTR 시스템 내에서 전 자동화가 되어있으며 캐리어, 로우 바, 그리고 슬라이더 레벨 에서 높은 스루풋 능력을 제공합니다.
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Park Systems의 산업용 AFM은 정확하며 신뢰할 수 있는 폴 팁 리세션 구조(PTR)의 전자동 측정을 제공합니다.

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PTR 모니터링은 20 µm 떨어져있는 표면을 참조한 0.1 nm 수준의 측정 정확성을 요구합니다.


Automatic Wall Angle Measurement & Analysis

다양한 벽면 각도 어플리케이션을 자동적으로 측정 및 분석할 수 있습니다.

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Automatic Defect Measurement and Analysis

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엣지 스파이크와 같은 다양한 결함의 측정 및 분석은 전 자동화 되어있습니다.

 

Park NX-PTR features

Low Noise XYZ Position Sensors for more accurate scans

NX-PTR은 비선형인 Z 전압신호 대신 울트라-로우 노이즈 Z 검출기를 이용하여 형상 높이를 매우 정확하게 측정합니다. 업계를 선도하는 저 노이즈 Z 검출기는 형상 신호로서 Z 인가 전압을 대체하며 앞 뒤 스캔 간격을 스캔 범위의 0.15%로 경미하게 만듭니다.


Minimal Thermal Drift and Hysteresis reduces tip drift

NX-PTR의 본체는 기계적과 열적으로 상당히 안정되게 설계되어있어, 열변형을 최소화하며 더욱 정밀한 측정을 제공합니다. 일반적인 열변형율은 수평방향으로 100 nm/°C 미만이며 수직 방향으로 200 nm/°C미만입니다.


Automatic Measurement Control so you can get accurate scans with less work

aotomatic-softwareNX-PTR은 자동화 소프트웨어를 탑재하고 있어 작업을 매우 수월하게 합니다. 원하는 측정 프로그램을 선택하기만 하면 최적화로 세팅된 정밀한 다지점 분석결과를 얻을 수 있습니다. 분석결과는 캔틸레버 튜닝, 스캔 속도와 게인, 그리고 셋 포인트 파라미터를 제공합니다. 사용자는 Park Systems의 사용자 친화적 소프트웨어 인터페이스를 이용하여 맞춤형 작업 루틴을 융통적으로 생성하는 것이 가능합니다. 따라서 사용자는 NX-PTR의 전 출력을 이용할 수 있으며 원하는 측정 결과를 얻을 수 있습니다. 새로운 루틴을 만들어 내는 것은 쉬운 작업입니다. 하나의 루틴을 생성하는 데에는 10분 가량이 소요되며 기존의 루틴을 수정하는 데에는 5분 미만이 소요됩니다.


Park NX-PTR’s automated system features

•완벽한 컨트롤이 가능한 자동, 반자동, 수동 모드
• 자동화된 개별 루틴의 수정이 가능한 측정 방법
• 측정 프로세스의 실시간 모니터링
• 획득한 측정 데이터의 자동 분석

 

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