| 고객문의 |
  • Park
    NX20
    AFM Modes
 

QuickStep SCM Mode

  • Ten times faster than conventional SCM scan
  • No compromise of signal sensitivity, spatial resolution, or data accuracy

High Throughput QuickStep Scan

퀵스텝 스캔의 실행으로 인해 SCM 측정 처리량은 급격하게 증가 하였습니다. 퀵스텝 스캔은 일반적인 SCM 스캔보다 10배 가량 빠른 속도를 가집니다. 신호감도, 공간 분해능, 그리고 자료정확도에 손상을 입히지 않습니다. 퀵스텝 스캔에서, XY 스캐너는 데이터를 기록하기 위해 각각의 픽셀포인트에서 정지합니다. 이것은 픽셀 포인트 사이의 빠른 이동을 도와줍니다.

QuickStep Scan

quickstep-scan

Rather than continuous movements, the XY scanner stop at each data acquisition point.

quickstep-scan-rate

Scan rate 1.5Hz

Conventional Scan

conventianal-scan
 
conventianal-scan-rate

Scan rate 1Hz

Scan size: 10µm×3µm, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V

 

Accurate Dopant Profiling by Park SCM

반도체 제작에 있어, 도판트 프로파일의 특징을 분석하는 능력은 결함의 원인을 규명하는 것과 설계를 발전시키는 것만큼 중요합니다. Scanning Capacitance Microscopy (SCM)는 2D 도판트 프로파일의 양을 측정하는 특별한 기능을 가지고 있습니다.

scm-signal
 

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint Conductive AFM은 팁과 샘플 사이의 전기적 접촉이 잘 이루어지게 하기 위해 개발되었습니다. XY 스캐너는 사용자가 접촉시간을 조정하며 전류를 얻을 때 작동을 멈춥니다. PinPoint Conductive AFM은 여러 샘플 표면에 대해 래터럴포스(가로방향력)없이 높은 공간 분해능 과 최적화된 유속측정을 가능하게 합니다.

 

PinPoint Mode

pinpoint-scan

Contact

Tapping

contact-scan

Sample: ZnO nano-rods, -3 V sample bias

산화아연 나노막대의 conductive AFM의 이미지를 보면 일반적인 접촉 conductive AFM이 tapping conductive AFM 보다 더 빠른 유속측정이 가능하다는 것을 보여줍니다. 하지만 형상 접촉 모드에서는 팁이 닳게 되므로 분해능 에는 적합 하지 않습니다. 새로운 PinPoint conductive AFM은 공간 분해능과 최적화된 유속 측정 두 가지 모두에 있어 최고입니다.

 

High-bandwidth, Low-noise Conductive AFM

산업 내에서 Conductive AFM은 고장분석을 포함한 다양한 디바이스 연구에 있어서 중요한 장비입니다. Park Systems의 Conductive AFM은 시장 내에서 최저의 전류 노이즈 레벨과 최대의 습득범위(gain range)를 가지고 있는 가장 경쟁력 있는 사양입니다.

  • 산업 내의 최저 전류 노이즈 레벨(0.1 pA)
  • 산업 내의 최대 전류(10 μA)
  • 7자릿수의 최대 Gain Selection을 다룬다 (103 ~109)
 

Park NX20 advanced SPM modes

Surface Roughness Measurement

NX20-AFM Modes