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  • Park
    NX20
    AFM Technology
 

Accurate AFM Solutions for FA and Research Laboratories

Sidewall measurements for 3D structure study

3D-wall

NX20의 획기적인 구조로 인하여 샘플의 측벽과 표면을 탐지하고 각각의 각도를 측정하는 것이 가능합니다. 이것은 사용자가 혁신적이고 깊이있는 연구를 할 수 있도록 도와줍니다.

 

Surface roughness measurements for media and substrates

표면 거칠기 측정은 NX20의 핵심 기능 중의 하나이며, NX20은 정확한 고장분석과 품질보증을 제공합니다.
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High resolution electrical scan mode

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QuickStep SCM
가장 빠른 전기용량 측정 원자현미경

PinPoint iAFM
마찰이 없는 전도성의 AFM

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Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity

Tip Wearing Experiment with CrN Sample

Tip Wearing Experiment with CrN Sample
  • 반복적인 스캔을 하는 동안 팁의 형태변화를 비교할 때, Park Systems의 True Non-Contact Mode의 장점을 명확하게 인지하실 수 있습니다.

Reproduce Best AFM Measurement

ETD-Non-Contact
  • True Non-Contact Mode는 날카로운 팁을 빠르게 마모시키는 거친 표면을 가진 팁 체크 샘플 CrN을 200회의 측정 이후에도 팁의 끝부분을 날카롭게 유지해줍니다.
 

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography™ without piezo creep error

Park Systems의 AFM은 가장 효과적인 저 노이즈Z검출기로 0.02nm이상의 넓은 대역폭은 가집니다. 이는 정확하게 샘플의 형상도를 측정할 수 있으며, 모서리의 측정 오류가 없어 별도의 측정이 필요하지 않습니다. 또한 시간단축을 해주고 더 좋은 정보를 얻을 수 있습니다.

  • Low noise Z detector signal is used for Topography
  • Low Z detector noise of 0.02 nm over large bandwidth
  • No edge overshoot at the leading and trailing edges
  • Calibration needs to be done only once at the factory

Park NX AFM

no-creep-effect

Conventional AFM

creep-effect
 
 
 

Park NX20 features

2D Flexure-Guided Scanner with 100 µm x 100 µm Scan Range

2D-Flexure-Guided-Scanner대칭형 2차원 플랙셔와 고출력 압전 스택으로 구성된 XY 스캐너로서 평면 외 움직임을 최소화한 직교성 높은 이동및 나노미터 규모의 정밀한 시료 스캔에 필수적인 우수한 반응성을 제공합니다

Low Noise Position Sensors
position-sensors

업계를 선도하는 저 노이즈 Z 검출기를 Z 인가 전압 대신 형상 신호로 사용할 수 있습니다.. 또한 저 노이즈 XY 클로즈드 루프 스캔은 왕복 시 스캔 간격을 0.15% 미만으로 최소화합니다.

Step-and-Scan Automation

전동식 시료 스테이지를 활용한 Step-and-Scan 기술로 여러 영역을 사용자가 프로그래밍하여 이미징할 수 있습니다. Step-and-Scan 과정은 다음과 같이 구성됩니다.

Step-and-Scan

1) Scan an image
2) Lift the cantilever
3) Move the motorized stage to a user defined coordinate
4) Approach
5) Repeat the scan

반복 이미징 시 이러한 자동화 기능으로 사용자의 개입을 최소화할 수 있습니다.

Auto Engage by Slide-to-Connect SLD Head
SLD-head

더브테일 레일을 따라 원자현미경 헤드를 밀어서 손쉽게 삽입 또는 분리할 수 있고, 미리 정렬된 위치에 헤드가 자동으로 고정되어 제어 전자회로에 연결되며 위치 반복성이 수 미크론 이내입니다. 초발광성 다이오드(SLD)는 가간섭성이 낮으므로 반사율이 높은 표면을 정확하게 이미징하고 pico-Newton 힘-거리 분광을 정밀하게 측정할 수 있습니다. SLD 헤드에는 가시광선 스펙트럼을 활용하는 실험에 적합하다는 장점도 있습니다.

Expansion Slot for Advanced SPM Modes and Options
expansion-slot

확장 슬롯에 옵션 모듈을 삽입하기만 하면 고급 SPM 모드를 사용할 수 있습니다. NX 시리즈 원자현미경의 모듈식 설계는 모든 제품 라인에서 옵션 호환성을 보장합니다.

High Speed 24-bit Digital Electronics
digital-electronics

모든 NX 시리즈 원자현미경은 동일한 NX 컨트롤러에 의해 제어와 신호 처리가 됩니다. 이 컨트롤러는 완벽한 디지털 방식의 24비트 고속 전자회로로 구성되어 있어서 정확하고 빠른 완전 비접촉 모드TM를 실현합니다. 또한 저 노이즈 설계와 고속 처리 장치를 갖추었으므로 나노 규모 이미징 뿐만 아니라 정밀한 전압 및 전류 측정에 이상적이며, 디지털 신호 처리 기능이 내장되어 숙련된 연구자에게 원자현미경 솔루션의 기능성과 가치를 더해 줍니다.

24-bit signal resolution for XY and Z detectors
• 0.003 nm resolution in XY (50 μm XY)
• 0.001 nm resolution in Z (15 μm Z)

Embedded digital signal processing capability
• 3 channels of flexible digital lock-ins • Spring constant calibration (thermal method)
• Digital Q control included

Intergrated signal access ports
• Dedicated and programmable signal input/output ports
• 7 inputs and 3 outputs

High Speed Z Scanner with 15 µm Scan Range
z-scanner

고출력 압전 스택으로 구동되며 플랙셔 구조로 유도되는 표준 Z 스캐너로서 9kHz(통상 10.5 kHz) 이상의 높은 공진 주파수를 가집니다. 초당 48mm 이상의 팁 속도를 발휘하는 Z 서보 속도를 통해 정확한 피드백을 가능하게 합니다. 옵션을 통해 스캔 범위를 최대 15µm 에서 30µm로 넓힐 수 있습니다.

Motorized XY Sample Stage with Optional Encoders
encoders

모든 전동식 스테이지에 인코더가 사용되어 시료 위치의 정확성과 재현성이 향상됩니다. 인코딩된 XY 스테이지의 이동 시 분해능은 1µm, 재현성은 2µm입니다. 인코딩된 Z 스테이지의 이동 시 분해능은 0.1μm, 재현성은 1μm입니다.

Accessible Sample Holder
Sample-holder

독보적인 헤드 설계로 측면으로부터 시료와 팁에 접근할 수 있습니다. 스테이지에 올려놓을 수 있는 최대 시료 크기는 XY 시료 스테이지에 대해 선택한 이동 범위 옵션에 따라 150mm(지름) x 20mm 또는 200mm(지름) x 20mm입니다.

Direct On-Axis High Powered Optics with Integrated LED Illumination
optics

맞춤 설계된 대물 렌즈와 매우 긴 작동 거리(51mm, 0.21 NA, 1.0µm 분해능)를 통해 획기적인 선명성으로 직접적인 광학 관찰이 가능합니다. 시료를 위에서 직접 내려다 볼 수 있으므로 시료 표면에서 목표 영역을 손쉽게 찾아낼 수 있습니다.. 장거리 이동 헤드의 EL20x(20 mm의 작동거리, 0.42 NA, 그리고 0.7 µm분해능 )대물 렌즈와 CCD의 대형 센서는 화질 저하 없이 시료를 관찰할 수 있게 합니다. 소프트웨어로 제어되는 LED 광원은 선명한 시료 관찰을 위해 시료 표면을 충분히 밝혀 줍니다

Vertically Aligned Motorized Z Stage and Focus Stage
focus-stage

전동식 Z 스테이지 및 초점 스테이지는 원자현미경 헤드를 이동하여 캔틸레버를 시료 표면에 접근시킵니다. Z 스테이지와 초점 스테이지는 시선 축에 평행으로 정렬되어 헤드 접근 시 시야를 유지합니다. 축상 광학현미경의 초점 메커니즘을 전동화하여 소프트웨어로 제어할 수 있습니다. 전동식 초점 스테이지의 유연성은 투명한 시료 및 액상용 셀 응용 분야에 필수적인 간편한 접근성을 부여합니다.

NX20-Technical Info