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    NX-Hivac
    High vacuum AFM for failure analysis
    The world's most accurate
    and easy to use AFM
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Park NX-Hivac

결함분석을 위한 고진공 원자현미경(AFM)

Park NX-Hivac은 고진공 주사형 확산저항 현미경 (Scanning Spreading Resistance Microscopy) 을 통해 측정 민감도를 향상시킵니다. 고진공 환경에서의 측정은 공기 중이나 수분이 제거된 질소가스에서의 측정 보다 더 높은 정확도 및 재현성을 실현합니다. 동시에 탐침(tip)과 시료의 손상은 적기 때문에 사용자들은 다양한 결함분석 응용분야에서 광범위한 도프(dope) 농도 및 신호 응답을 측정할 수 있습니다.

Brochures

 

고진공 조건에서 SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy) 측정을 하면 탐침(Tip)-샘플 사이의 상호작용력이 감소되어 탐침(tip)과 샘플의 손상을 크게 줄일 수 있습니다. 이를 통해 탐침(tip)의 수명이 연장되므로 저렴하고 편리한 측정이 가능하고 signal-to-noise 비율을 향상 시켜 보다 정확한 결과를 얻게 됩니다. 그러므로 NX-Hivac을 이용한 SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy) 측정은 처리속도를 높이고 비용을 줄이며 정확도를 높이고자 하는 결함분석 엔지니어에게 탁월한 선택입니다.

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Park Hivac Manager

NX-Hivac 자동 진공 제어

고진공은 Hivac Manager에 의해 제어되고, 버튼 한 번의 클릭으로, 최적화 된 진공상태를 위한 펌핑과 벤팅과정을 논리적, 시각적으로 제어할 수 있습니다. 이때의 각 과정은 색상 및 회로도 변경이 시각적으로 모니터링 됨으로 버튼을 클릭 한 후 (눈으로 확인 되지 못했던) 진공 작동 과정에 대해 염려 할 필요가 없습니다. 더 빠르고 쉬워진 진공 제어 소프트웨어는AFM 작동을 보다 편리하고 생산성을 높여 줍니다.

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고급 자동화 기능

NX-Hivac에는 사용자가 필요로 하는 입력을 최소화 하는 다양한 도구들이 있다는 점이 특징적입니다. 즉 사용자는 측정 속도를 높이고 그에 따라 실험 처리량을 높일 수 있습니다.

 

StepScan의 자동화

Stepscan은 사용자가 여러 영역을 빠르고 쉽게 샘플을 측정 할 수 있도록 프로그램밍을 할 수 있는 기능을 제공합니다. NX-Hivac은 1) 스캔(Scan), 2)캔틸레버(cantilever) 들어올리기, 3)자동스테이지를 사용자 지정한 좌표로 옮기기, 4) 접근(Approach), 5) 반복(repeat) 5단계로 간단히 측정할 수 있습니다. 이와 같이 요구되는 사용자 입력을 최소화하여 생산성을 크게 증진 시킵니다.

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레이저 정렬 자동화

Park의 자동화된 레이저 빔 정렬을 통해 사용자는 아무런 입력 없이 계속 자동 측정하여 원활하게 진행할 수 있습니다. 당사가 제공하는 켄틸레버 홀더(pre-aligned cantilever holder)로 레이저 빔은 탐침(tip) 교환시에 캔틸레버(Cantilever)에 초점을 맞추고 전동 손잡이 제어 장치에 의해 레이저 스팟은 X와 Y축에 따라 최적화 됩니다.

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정확도와 생산성 향상

NX-Hivac은 세계에서 가장 정확한 고성능 원자현미경(AFM)이며, 뿐만 아니라 결함 분석 응용 분야에서도 사용하기 쉽고 편리한 원자현미경(AFM)임을 확신 합니다. Park NX-Hivac을 사용하면 당신의 생산성과 결과에 대한 신뢰도가 향상 될 것입니다.

 

XY (Closed-loop) 및 Z스캐너

샘플과 프로브 팁을 위한 두 개의 독립된 XY 그리고 Z 스캐너를 사용하면 매우 정확한 스캔 결과를 얻을 수 있습니다. NX-Hivac은 전체 측정 범위에서 1nm 미만의 평면 모션과 직교 XY스캐닝을 제공합니다. 또한 고속 Z스캐너는 15 μm의 스캔범위와 비선형 성이 0.5% 미만입니다. 이는 소프트웨어 처리가 할 필요 없이 정확한 2D와 3D측정할 수 있습니다.


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저소음 XYZ 위치 센서

NX-Hivac은 Park AFM의 업계 최고의 저소음 Z감지기 의해 저소음 XY 스캔(Closed-loop)은 앞뒤 스캔 간격을 0.15%미만으로 최소화 하는 동안 샘플 지형(Topography )를 정확하게 측정합니다.


24-bit Digital Electronics

24-bit-digital-electronics

NX-Hivac를 주력으로 하는 자사의 NX 시리즈 전자 제어장치(controller)를 이용해 당신의 시간을 절약하고 정확성을 극대화 하십시오. 자사의 전자제어장치(controller)는 모두 디지털로 되어있으며 24비트의 고속장치로 사용자들이 자사의 True Non-contact모드를 포함한 광범위한 스캔 범위를 수행할 수 있도록 합니다. 저소음 설계와 고속 처리 장치를 갖춘 이 제어장치(controller)는 정밀 전압 및 전류 측정은 물론 나노 단위의 측정에도 이상적입니다. 또한 전자 제어장치는 디지털 신호 처리기능이 있어 사용자들이 측정한 것을 보다 쉽게 분석할 수 있습니다.

 

Specification

Scanner

XY scanner: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm optional)
Z scanner: 15 μm

Optics

Objective lens: 10×
5M pixel CCD

Sample Stage

XY stage travel: 22 mm, 22 mm
Sample size: 50 mm x 50 mm, up to 20 mm thickness

Physical
Information

Inner vacuum chamber: 300 mm x 420 mm x 320 mm
Outer vacuum (including granite & pump): 800 mm x 950 mm x 730

Software

SmartScan: Park AFM operating software
XEI: AFM data analysis software
Hivac Manager: Auto vacuum control software

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High Vacuum

Vacuum level: Typically less than 1 x 10-5 torr
Pumping speed: Reach to 10-5 torr within 5 min.

Electronics

ADC: 18 channels
4 high-speed ADC channels (50 MSPS)
24-bit ADCs for X, Y, and Z position sensor

DAC: 12 channels
2 high-speed DAC channels (50 MSPS)
20-bit DACs for X, Y, and Z positioning
3 channels of integrated lock-in amplifier

Park NX-Hivac