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기술지원 FAQ

[Scanner] Q: XY scanner가 비정상적으로 움직이거나 움직이지 않을 때 어떻게 해야 하나요?
[Stage] Q: Focus 및 Z stage 구동시 소음이 발생 또는 이상 동작이 나타날 때 해결 방법은 무엇인가요?
[Approach] Q: A-B, C-D drift 현상이 심하게 발생하는 경우 approach가 제대로 되지 않습니다. ?
[Align] Q: laser spot이 Optics view 영역을 벗어나 찾을 수가 없는데 어떻게 laser spot을 찾을 수 있는 방법이 있나요?
[Align] Q: Laser align을 하였으나 PSPD align이 되지 않습니다.
[Software] XEP가 실행이 되지 않고 "initialization failure" 창이 뜨면서 실행이 되지 않습니다.
[Software] XEI을 실행하여 3D를 선택하면 프로그램이 다운이 됩니다.
[Vision] IC Capture(Vision)이 나오지 않습니다.
[Align] Cantilever가 화면 상에서 사라져 버렸습니다.
[Stage] AFM을 설치 후 XY Manual stage가 한쪽 방향으로만 움직입니다.
[Measurement] Non-contact mode에서 image가 제대로 scan 되지 않습니다.
 

AFM 질의응답